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竣工驗收的內容是對各分部工程的單機測試和無生產負荷系統測試的核查，潔凈室(區)性能參數檢測和調試、各分部觀感質量核查，按要求進行功能檢測和調試。無塵車間潔凈廠房的竣工驗收，是在車間各自檢合格后進行。
一、潔凈廠房竣工驗收時，應認真檢查竣工驗收的資料，一般包括下列文件及記錄：
1、圖紙會審記錄、設計變更通知書和竣工圖。
2、各分部工程的單機設備、系統安裝及檢驗記錄。
3、各分部工程的主要設備、材料和儀器儀表的出廠合格證明及進場檢驗報告。
4、各分部工程、系統無負荷試運轉與調試記錄。
5、各分部單機試運轉記錄。
6、各類管線試驗、檢查記錄。
7、各分部工程的質量驗收記錄。
8、各分部工程的安全設施的檢驗和調試記錄。
二、潔凈廠房竣工驗收的主要測試內容如下：
1、氣流目測。
2、風速和風量測試。
3、潔凈室(區)的密閉性測試。
4、房間之間的靜壓差測試。
5、空氣過濾器的檢漏。
6、空氣潔凈度等級。
7、自凈時間。
8、照度值。
9、溫度、相對濕度。
10、噪聲級。
11、其他建設方需要進行的檢測項目。
三、潔凈廠房的竣工驗收合格，并經核實批準后，按要求進行功能驗收，功能驗收是在“靜態”進行測試，其主要測試內容如下：
1、檢測空氣潔凈度等級。
2、檢測潔凈室(區)的密閉性測試。
3、生產工藝有要求者，還應進行微生物測試或化學污染物測試或特殊表面的潔凈度測試。
4、檢測自凈時間。
5、潔凈室(區)的溫度、相對濕度的穩定性測試。
6、測定噪聲級。
7、測定照度。
8、需要時，確認和記錄氣流形式和換氣次數。
9、其他需要進行的檢測項目。
四、潔凈廠房使用驗收后，應編寫使用驗收報告，其主要內容有：
1、潔凈廠房中各種設施(包括生產工藝設備)等的開啟狀態描述。
2、測試的潔凈室(區)人員及其活動情況的描述。
3、分項測試記錄及分析意見(包括測試點位置、座標等)。
4、測試儀器的有效校驗證書。
5、驗收出具相關結論。
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